金融界 2025 年 5 月 9 日消息,國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示,應(yīng)用材料公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“在等離子體處理腔室中通過 VI 傳感器和 RF 九游體育發(fā)生器的無(wú)線數(shù)據(jù)通信”的專利,公開號(hào) CN119948611A,申請(qǐng)日期為 2023 年 8 月。
專利摘要顯示,本文公開的實(shí)施例包括一種診斷基板。在一個(gè)實(shí)施例中,所述診斷基板包括:基板;以及傳感器,所述傳感器在所述基板上。在一個(gè)實(shí)施例中,所述診斷基板進(jìn)一步包括:通信模塊,所述通信模塊在所述基板上,所述通信模塊通信耦合至所述傳感器。在一個(gè)實(shí)施例中,所述通信模塊包括:輸出天線;開關(guān),所述開關(guān)耦合至所述輸出天線;以及信號(hào)源,所述信號(hào)源耦合至所述開關(guān)。
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